二手 VARIAN 3290 #9154647 待售
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ID: 9154647
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6"
Entity target configuration:
Process station #1: HARD ETCH
Process station #2: ALSI
Process station #3: ALSI
Process station #4: ALSI
Process station cathode configuration:
Station #1: Etch
Station #2: Con-Mag 2
Station #3: Con-Mag 2
Station #4: Con-Mag 2
Heater configuration:
Heater type (All Station): DC BIAS
Heater controller(AII Station): (3) Eurotherm 808, (1) Eurotherm 3508
Power supply configuration:
RF Gen. station #1: RF-10S (1KW max)
Inner PSU station #2: 2.5 KW
Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #3: 2.5 KW
Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #4: 2.5 KW
Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW
System vacuum configuration:
Compressor: Model 8150
8R Cryo pump: Yes
Water pump: No
Software configuration:
User's guide: ECS 3000
Version: 96.204.10U1
Floppy drive: 3.5"
Double cassette loading: Yes.
VARIAN 3290是一种精密的大功率直流溅射设备，由科学和实验室设备的主要供应商VARIAN制造。该系统旨在在磁盘、晶圆和管材等基材上创建薄材料层。它能够为各种应用精确沉积薄膜，从半导体器件到装饰产品。该单元包括各种用于溅射各种材料的配件，包括不锈钢、铝、其他金属、陶瓷和氧化膜。3290具有直流电溅射技术，纳米级沉积技术。该技术利用真空室内受控的低压环境，允许用电子轰击溅射目标，在基板上形成薄膜。这种轰击导致薄膜原子从目标材料中喷射出来，然后沉积到基板上。这项技术高度精确，允许在基材上沉积各种物质的均匀层。VARIAN 3290最大功率输出为5.4kW和三个独立阴极。这样可以快速沉积多层堆栈结构,这是复杂的多层应用程序的一个重要功能。张力范围可以从0v调整到5kV以调整溅射过程。这台机器还具有主动冷却系统,即使在高功率输出的情况下,用户也可以调节电源传递,防止在延长使用期间过热。此外，该工具还具有自动压力感应资产，可不断监测和调整腔室压力。3290是一个先进的模型，提供了其他系统所没有的一系列特征，并允许薄膜和均匀层结构的精确沉积。VARIAN 3290结合坚固的结构和耐用的部件,为各种薄膜沉积项目提供了出色的解决方桉。
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