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扫描电镜sem各个参数的意思 二维码
发表时间:2022-10-12 15:20 扫描电镜sem各个参数的意思?接下来铄思百检测小编带大家详细了解一下。 1、扫描电镜照片参数解读 图Ⅰ扫描电镜图片展示,EHT=20.00kV即加速电压20kV;WD=8.2mm,即工作距离8.2mm;Mag=7.94KX即放大倍数7940倍;Signal A=SE2即用SE2探测器。 扫描电镜参数众多﹐皆可显示在图片下方工具栏中,但决定图像质量最直接、最关键因素是加速电压(EHT)、工作距裹(WD)、放大倍数(Mag)和检测器种类,因此本台扫描电镜检测结n只选择显示这几个重要指标。. 2、电镜参数解读 2.1 加速电压 一般,加速电压越高,图像分辨率越高,当样品导电性好且不易受电子束损伤时可选用高加速电压,这时电子束能量大,对样品穿透深,材料衬度减小,图像分辨率提高。但加速电压过高,电子束对样品的穿透能力过大,样品表面信息缺失,样品看起来像玉一样,如图2D。 低加速电压时,入射电子能量较低,其与样品的作用深度较浅,更能反映样品最表层的信息,有利于样品表层形貌的观察(图2A,C);此外,低加速电压可以有效地减少荷电现象,更易观察不导电样品。如图2B,样品在10kV加速电压下边缘过亮,说明此处电荷大量积累,而图2A用1kV加速电压拍摄的同一部位就没有明显的荷电现象。 因此,根据自己的要求灵活地选择加速电压,才能得到理想的电镜图像。当需要观测样品的表面信息、样品的导电性较差、样品的热稳定性较差时,需要选择较低的,甚至是超低的加速电压。当需要得到分辨率高的图像、样品表面存在有机污染或是样品内部的相组成信息时,需要选择较高的加速电压。 图2不同加速电压条件下的二次电子像。A,C为 IKV加速电压条件下图像,图像表面细节清晰。B为10KV加速电压条件下图像,图像边缘效应较强。D为15KV加速电压条件下的图像,图像表面细节看不出。 2.2工作距离 工作距离(WD)是物镜下极靴到样品表面的距离。工作距离增大时,样品上的束斑变大,分辨率下降,但孔径角减小,景深增加。同时,较大的工作距离可以实现极小倍数成像,放大倍数能够达到几十倍(图3)。通常工作距离可在2-45mm 范围内选用。观察高分辨图像时可选用小于5mm的工作距离,配合本机 Inlens探测器;而观察粗糙断口表面或较大的植物样品时可以选用10mm 以上的工作距离,以获得较大的景深。 图3不同工作距离条件下的二次电子像的最小倍数图片。 2.3探测器种类 SE2和Inlens都是二次电子探测器,用于样品形貌检测。ASB探测器是背散射电子探测器,用于元素衬度成像。 2.4放大倍数和标尺 扫描电镜放大倍数:体现线圈磁场变化控制电子束扫描区域大小的能力范围,是图像显示尺寸和电子束在样品扫描区域尺寸的线性比值,以M表示,如果样品上长度为L直线上的信息,在显像管上成像在L。长度上,则放大倍数为: M一L/Ls 现在的扫描电镜几乎全部用数码相机照相。每个厂家对放大倍数的定义均不相同。每个仪器上也会有很多放大倍数显示方法,比如本机最常用的是标准放大倍数,即该扫描区域对应545底片上的倍数;此外还有屏幕放大倍数,即扫描区域对应电脑显示屏的放大倍数。因此对于不同仪器,相同放大倍数下看到的区域不一定一样大。此时需要看标尺,所有仪器上的标尺长度是一致的。 而对于同一台仪器,操作人员没有调节放大倍数显示方法的前提下,照的同一倍数的照片,大小绝对一致。但有时同一放大倍数下,显示的标尺是不一样的,如有时5000倍的照片显示lum的标尺,有时显示的是2um的标尺,但标尺显示的长度绝对是按比例的。有很多同学要求拍照的时候一定要相同的倍数下相同的标尺,但标尺是仪器根据放大倍数自行跳转的。非要调成一样是可以的,但这多花费了时间,却没有实际意义。 免责声明:部分文章整合自网络,因内容庞杂无法联系到全部作者,如有侵权,请联系删除,我们会在第一时间予以答复,万分感谢。 上一篇 做一个扫描电镜需要多长时间
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